電子顯微鏡的“指揮棒”:深入解析掃描系統(tǒng)的工作原理
2025-09-11 掃描系統(tǒng)作為電子顯微鏡的“指揮棒”,通過精準控制電子束在樣品表面的掃描路徑,實現(xiàn)微觀形貌的高分辨率成像,其工作原理可拆解為以下核心環(huán)節(jié):一、電子束的生成與聚焦電子槍(如熱發(fā)射槍或場發(fā)射槍)發(fā)射高能電子束,經(jīng)電磁透鏡系統(tǒng)聚焦后,形成直徑僅5-10納米的細束。這一過程類似于光學顯微鏡中光源的準直,但電子束的波長更短(加速電壓下波長可達0.01納米級),為高分辨率成像奠定基礎。二、掃描系統(tǒng)的動態(tài)控制末級透鏡上方的掃描線圈是系統(tǒng)的“指揮中樞”。通過向線圈輸入鋸齒波電流,電子束在樣品表...關注公眾號,了解最新動態(tài)
