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位移高精度測量光纖激光尺

產(chǎn)品簡介

中圖儀器PLR3000位移高精度測量光纖激光尺有什么用?它配置高穩(wěn)定氦氖光光源,穩(wěn)頻精度可達0.02ppm。激光通過保偏光纖引導(dǎo),用戶可輕松將光路配置到任意需要測量位置,減少阿貝誤差。

產(chǎn)品型號:PLR3000
更新時間:2025-12-01
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:134
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PLR3000位移高精度測量光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖光光源,穩(wěn)頻精度可達0.02ppm。激光通過保偏光纖引導(dǎo),用戶可輕松將光路配置到任意需要測量位置,減少阿貝誤差。


一、光纖激光尺有什么用

基于激光干涉測量原理,是一種高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測設(shè)備。在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

位移高精度測量光纖激光尺

二、光纖激光尺的優(yōu)點

1. 納米級信號輸出:10nm高分辨率(支持外部拓展),正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出,適配各類控制器;

2. 全環(huán)境自適應(yīng):一體化環(huán)境氣象站,實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響,數(shù)據(jù)長期可靠;

3. 靈活安裝設(shè)計:激光主機與探頭分離,3m鎧裝光纖連接,遠離熱源干擾,狹小空間也能便捷安裝;

4. 多維度測量支持:單軸/雙軸/三軸自由配置,搭配多種干涉探頭,輕松實現(xiàn)多自由度測量;

5. 雙重使用模式:既可作為激光干涉儀獨立測量,也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制;


三、光纖激光尺怎么用

1.高精度數(shù)控機床的位置反饋:如加工航空航天設(shè)備的高精度大型機床,此時就需要激光閉環(huán)來滿足;

2.高精度大型坐標(biāo)測量機:大型工件測量往往對精度和量程要求很高,同時還對溫度非常敏感,光纖激光干涉尺的環(huán)境補償組件可以對溫度進行補償,使之更合適高精度大型坐標(biāo)測量機使用;

3.光刻機:光纖激光尺的高精度、高抗震性能,非常適合光刻機使用;

4.高精度運動平臺:光纖激光尺安裝在高精度直線電機上,做高精度直線電機的反饋,可直接提升運動平臺的控制精度;

5.普通光柵尺刻劃、檢驗:由于光纖激光尺的測量精度高出普通光柵尺一個數(shù)量級,所以可以使用光纖激光尺作為“母光柵"進行光柵尺的刻劃、檢驗工作;

6、其他檢驗檢測設(shè)備:配合高精度圓光柵,可以做絲杠導(dǎo)程誤差的檢測。雙軸測量可減小阿貝誤差,降低機械成本。


四、光纖激光尺使用案例

1. 半導(dǎo)體制造:光刻機晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋,助力芯片制造良率提升;

2. 航空航天:發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn),保障核心部件可靠性;

3. 精密加工:數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量,提升加工精度與效率;

4. 科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制,支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度;

五、產(chǎn)品服務(wù)

1.定制化支持:按需提供量程拓展、線纜定制、探頭配置等個性化方案,精準(zhǔn)匹配客戶具體場景(如8m長行程機床、5m航空部件檢測);

2.精度背書:提供深圳市jiliangyuan/中國jiliangyuan出具的校準(zhǔn)證書,長量程測量數(shù)據(jù)可追溯,滿足工業(yè)合規(guī)要求;

3.全周期服務(wù):1年質(zhì)保+7×24小時技術(shù)響應(yīng),長量程安裝、拓展、調(diào)試全程提供專業(yè)指導(dǎo),現(xiàn)場問題平均解決時效≤4小時。

注:產(chǎn)品參數(shù)隨技術(shù)迭代優(yōu)化,相關(guān)內(nèi)容可能實時更新,恕不另行通知。


相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,PLR3000位移高精度測量光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設(shè)計,保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點,是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計。

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