現(xiàn)有的光學非接觸測量方法難以完成高反射曲面零件的三維形貌高精度測量，已經難以滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化需求。中圖三維光學表面輪廓儀品牌采用白光軸向色差原理，利用白光干涉掃描技術為基礎研制而成，是一種用于對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器，它的特點是可以達到納米級的檢測精度。

測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據進行檢測，主要用于成品質量的管理，確保良品合格率。

產品參數(shù)

標準配置

技術指標

Superview w1三維表面輪廓儀具有測量精度高、分析功能強大、使用方便、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。還有雙重防撞防護：

1、軟件防撞保護 ZSTOP

ZSTOP是是軟件設置在Z軸上的停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

2、Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。

大多數(shù)的場景中，只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，借助中圖儀器SuperView W1三維表面輪廓儀的自動拼接功能，就能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。

超光滑的弧形表面：

粗糙的特征表面：

中圖三維光學表面輪廓儀品牌可以對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。