激光干涉儀是一種常用的實驗室儀器，可以用于測量長度、形狀、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理，利用激光源發(fā)出兩個頻率不同的激光束，通過干涉產生干涉條紋來進行測量。在激光干涉儀中，激光源會發(fā)出兩個頻率不同的激光束，其中一個激光束為參考光，另一個激光束則被用來測量待測物體的位移或形變。這兩束激光束會經過分束器和反射鏡，最終在檢測器上產生干涉信號。
激光干涉儀是一種高精度的測量儀器，其主要優(yōu)勢如下：
1、高精度測量：激光干涉儀具有高精度的測量功能，可以實現亞納米級別的位移測量。
2、可靠性高：由于使用了穩(wěn)定的激光源和優(yōu)質的光學元件，在長時間運行中保持高穩(wěn)定性，減少誤差和漂移。
3、寬波長范圍：激光干涉儀可在可見光和近紅外范圍內進行測量，靈活性更高。
4、非接觸式測量：激光干涉儀不需要與被測物理接觸，避免了對被測物的損傷，同時也不受表面反射、污染等影響。
5、適用范圍廣：激光干涉儀適用于多種領域，包括機械制造、電子制造、航空航天、生物醫(yī)學、材料科學等領域。
總之，激光干涉儀具有高精度、高可靠性、寬波長范圍、非接觸式測量和適用范圍廣等優(yōu)點，是一種重要的精密測量儀器。
更新時間：2023-04-25
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三坐標測量儀
